导热真空计的原理

调节中的张紧电线被电流I加热（图11-19）。在热平衡中，输入能量为辐射热传递（QR），铅热传递（QL）和气体热传递（Qc的总和），即根据等式（11-13）和（11-14）， QR和QL与气压无关，并且Qc不同。在高压下，气体分子的自由行程lt，lt，管径d，气体传热量Qc与方程式（11mdash，16）中的压力p成正比，与压力p成反比，因此Kc与压力p公式（11-15）可以写成公式中的B常数。从公式（11-17）可以看出，在高压下，由于Qc与压力p无关，因此无法通过气体热传导来测量气压（热导仪的测量上限也由这个因素）。因此，可以通过在低压下Qc与压力p成比例的关系来测量气体的压力。此外，由于其与Cv与气体类型的比率成反比，所以导热真空计的灵敏度根据气体的类型而变化。在低压和高压之间的过渡区域，Qc和压力p的关系如图11-20所示，这是从自由分子热传导情况从等式（11-18）到等式（11-17）的转变）。导热情况与压力无关。热适应系数与金属丝的材料特性和表面状态以及气体的类型和温度有关。清洁表面的值小于不清洁表面的值。对于经常暴露在高压下的调节，该值很大，因为热线的表面具有吸附层。该值对导热真空计的精度和稳定性有很大的影响。表11-2显示了某些气体-金属组合的热适应系数。导热真空计的测量下限主要取决于QR和QL的大小，而Qc没有理论下限。有几种类型的导热真空计。 Z *通常用作热电偶真空计和电阻真空计。它也是测量低真空度的主要工具。